浙江至纯精密制造有限公司为适应行业发展需要，总投资21944.21万元，租赁海宁国芯科技有限公司厂房总建筑面积44335.54m2，建设至纯半导体设备模组及部件制造项目，形成年产高纯度阀200套、加热器180台、静电消除器250台、晶圆位置扫描器250台、马兰戈尼干燥机78台、旋干机自动平衡器100台、兆声波230台、IPA浓度计230台、高低温泵100台的生产能力。

该项目立项后，由浙江evo视讯游戏安全技术有限公司出具安全预评价报告，由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司出具总平面布置图，由中图设计有限公司出具安全设施设计专篇。目前浙江至纯精密制造有限公司至纯半导体设备模组及部件制造项目经前期建设，业已竣工，各项投用基本到位，按照《建设项目安全设施“三同时”监督管理办法》（原国家安监总局令第36号，第77号令修订）、《关于修改<浙江省冶金等工贸行业建设项目安全设施“三同时”监督管理暂行规定>的通知》（原浙安监管综〔2017〕45号）等规定，需落实建设项目安全设施“三同时”验收，以论证和确认建设项目与法律法规、标准规范要求的符合性。

   本项目产品不属于危险化学品，但在生产过程中涉及使用危险化学品：氮[压缩的]、氩[压缩的]、氦[压缩的]、氢氧化钠、25%硝酸、55%氢氟酸、乙醇、丙酮、异丙醇、双相不锈钢电解抛光液（35-75%磷酸、10-50%硫酸）、电化学抛光、清洗过程中产生的少量氢气，该企业属于危险化学品使用单位。浙江至纯精密制造有限公司属于半导体器件专用设备制造（C3562），未列入《危险化学品安全使用许可适用行业目录（2013年版）》（原国家安全生产监督管理总局公告2013年第3号）中，不需要办理《危险化学品安全使用许可证》。